火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化
單片晶圓的均勻性從95%達到99.5%,優於國內半導體廠商要求的99%

火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化

您能想像家用微波爐的低頻微波,也能應用於半導體製程嗎?集結交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室三方之力的微波退火技術,成功克服多項技術難題,將學理落實於元件製程設備,展現節能與成本優勢,此項技術入圍2017全球百大科技研發獎。

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