眼見為憑 磊晶製程創先機

導入「磊晶製程參數優化系統」後,磊晶廠找出所有最佳化製程參數的時間,預期可從一週縮短為兩小時,且參數分析準確度由92%提升為95%,新產品上市時間也能由三個月縮短為一個月,此外,由此系統創新設計開發的關鍵設備模組,可使機台產能成長2倍。

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火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化
單片晶圓的均勻性從95%達到99.5%,優於國內半導體廠商要求的99%

火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化

您能想像家用微波爐的低頻微波,也能應用於半導體製程嗎?集結交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室三方之力的微波退火技術,成功克服多項技術難題,將學理落實於元件製程設備,展現節能與成本優勢,此項技術入圍2017全球百大科技研發獎。

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量身訂做黃金參數,讓磊晶製程快速又簡單

每位麵包師傅或是廚師,甚至是我們自己在家做菜,就算是有食譜,為什麼同樣的配方,做不出同樣的東西?差異就在「技術力」!「可視化磊晶製程優化系統」把電腦模擬的數據變成肉眼就能觀察的影像,並且將製程參數實驗資料庫,以及模擬分析的優化結果導入巨量資料庫,就可以依據每種產品的需求,量身訂做磊晶製程的黃金參數,讓產能倍增超快速!

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