奈米微粒監控系統

半導體產業在全球的競爭越來越激烈,台積電如何保持製程上的領先優勢呢?靠的就是這一味:「奈米微粒監控系統 」。

 

在你的手機、用的電腦、看的電視、聽的音響內都有半導體晶圓,晶圓的製造過程中,必須藉由多道製程技術,在晶圓上精確的定義出一層層極細微尺寸的圖案。

 

製造過程中,必須仰賴化學溶液與超純水來清洗過程中所殘留在表面的物質,而化學溶液的潔淨度,影響晶圓品質與良率。

 

化學溶液、超純水中奈米粒子的大小及數量必須持續、精密的監控,才能維持產品良率,工研院與台積電開發「新世代溶液中奈米微粒監控系統」,將傳統40奈米的粒子量測瓶頸提升至3奈米,一舉解決半導體製程微縮的量測難題,並掌握製程原物料品質,提高良率。

 

這項技術除了應用在半導體製程之外,其他領域的用途也很廣泛,可以應用在光電製造或生物製藥產業。

 

 

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