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高階量測技術平台


在半導體濕式製程中,晶圓表面的清洗、蝕刻與研磨皆需仰賴特定化學溶液進行,而溶液中­奈米粒子的尺寸與分佈會影響晶圓電路圖案(pattern)的製程結果,例如清洗過程­奈米粒子的殘留,研磨階段的刮痕。因此溶液中粒子的大小及數量必需被持續監控,只要發­現溶液粒子不符規格,就必需馬上暫停及更換,才能維持產品良率。因此半導體業者需擁有­一雙能真正看得到更小微粒的『新眼睛』,這雙新眼睛就是工研院(ITRI)所研發成功­的「新世代溶液中奈米微粒監控系統」。

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